MX-IR / BX-IR MX-IR/BX-IR是像透過玻璃似的可透視紅外線顯微鏡。適用于封裝芯片、晶圓級CSP/SIP的非破壞檢查。 非破壞觀察半導體器件內部 隨著不斷發展的電子設備小型化、超薄化的需求，半導體器件的封裝技術也高速進化。使用近紅外線顯微鏡，可以對SiP（Sy
在倒裝芯片的焊接中，組裝后的焊接部分和模塊無法用可見光檢查。但是，如果使用近紅外線顯微鏡，則可以在不破壞封裝的前提下，透過硅觀察IC芯片內部。只要置于顯微鏡下，就可以輕松進行不良狀況分析。對必需用FIB（Focused Ion Beam）處理位置的指定也有效。
晶圓級CSP的高溫高濕試驗導致器件的變化，可以用非接觸方式檢查。此外，還能可靠的觀察銅引線部分的融解和腐蝕引起的漏電、樹脂部分的剝離等。
 鋁引線部分（內面觀察） |
 焊錫溢出性評價 |
 電極部分（內面觀察） |
可以用來觀察150～300 mm晶圓等的大型樣品。只對應反射照明觀察。
 半導體／FPD檢查顯微鏡 MX61 |
 工業檢查顯微鏡 MX51 |
 研究級全電動系統 金相顯微鏡 BX61 |
對應反射光觀察和透射光觀察。 |
|
將專用物鏡等近紅外線觀察裝置搭載于顯微鏡上，就可以組成紅外線觀察顯微鏡。 對應顯微鏡一覽紅外線反射觀察 紅外線反射透射觀察 |
